超精密加工目前尚沒(méi)有統一的定義，在不同的歷史時(shí)期，不同的科學(xué)技術(shù)發(fā)展水平情況下，有不同的理解。通常我們把被加工零件的尺寸精度和形位精度達到零點(diǎn)幾微米，表面粗糙度優(yōu)于百分之幾微米的加工技術(shù)稱(chēng)為超精密加工技術(shù)。